烟气调质最早于上世纪50年代起用于燃煤电站ESP性能优化中，通过向烟气流中引入SO3，降低颗粒物电阻，提高ESP性能，得到更好的除尘效果。德国施蒂雅格开云官方站线上登录平台入口官网登录赫尔内发电厂于2004年引入SO3烟气调质系统，并购入一台SO3开云官方站线上登录平台入口官网登录，用于烟气调质时SO3气体浓度的精确定量。其实通过对引入SO3气体浓度的测量，评估烟气调质系统和ESP的性能。
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